中國環境報見習記者 丁波 記者 蔡新華 上海(hai)被(bei)賦予打造集成電路產業(ye)高(gao)地(di)的重大(da)(da)任(ren)務(wu)，隨著產業(ye)規模(mo)逐步擴大(da)(da)，廢酸環境無害化(hua)處置成為突(tu)出問題(ti)。據了解(jie)，上海(hai)通(tong)過 “點(dian)對點(dian)”資(zi)源化(hua)定(ding)向再利(li)用(yong)創新模(mo)式(shi)已破(po)解(jie)這一難題(ti)。

　　日前，一輛掛(gua)有危險標識的罐裝(zhuang)運輸車(che)穩穩駛入(ru)廠區，公司(si)專(zhuan)職管理員引導(dao)車(che)輛，過磅(bang)、取樣、檢驗、聯單簽收……一系列流程后，車(che)被引導(dao)至專(zhuan)用(yong)卸車(che)區，車(che)上(shang)的特殊液體(ti)被接收到公司(si)的原料(liao)儲料(liao)罐中，等(deng)待用(yong)于(yu)后續的生產(chan)。

　　這是記者(zhe)在位于金山第(di)二工(gong)業(ye)區內(nei)的(de)上海澎(peng)(peng)博鈦(tai)白粉(fen)有限公(gong)司(以下簡稱澎(peng)(peng)博公(gong)司)看到的(de)場景。罐(guan)裝(zhuang)車內(nei)裝(zhuang)運的(de)是液體硫(liu)酸(suan)，它(ta)的(de)特殊性在于是上游集成(cheng)電路(lu)芯片生產企業(ye)使用過的(de)廢棄硫(liu)酸(suan)。

　　在現(xian)場，公司負(fu)責人何文龍告訴(su)記者，公司是上海(hai)市集(ji)成電路芯片行業產生的廢硫酸(suan)資源(yuan)化利(li)用定點單位，每天安(an)排(pai)專用車輛(liang)將廢酸(suan)運回(hui)工廠(chang)，經過嚴格的檢驗流程后再投入到鈦白粉生產當(dang)中，今年1月-7月已處置利(li)用廢酸(suan)1.5萬噸。

　　新模式解(jie)決行(xing)業發展難題

　　據(ju)上(shang)(shang)海(hai)市(shi)生態環境局相關負責人介紹(shao)，上(shang)(shang)海(hai)首(shou)創的廢硫酸(suan)“點對(dui)點”資源化(hua)定向再(zai)利用(yong)(yong)模式運用(yong)(yong)逐步(bu)成(cheng)熟，目前已經全部覆蓋了上(shang)(shang)海(hai)具(ju)備回收廢酸(suan)條件的集成(cheng)電(dian)路(lu)芯(xin)片制造企業(ye)，總體上(shang)(shang)穩定地(di)解決了上(shang)(shang)海(hai)集成(cheng)電(dian)路(lu)芯(xin)片制造企業(ye)廢硫酸(suan)處置(zhi)問(wen)題。

　　據(ju)上海市集成電路行業(ye)協會相關負責人介紹，集成電路產(chan)業(ye)生產(chan)過程中會使用大量濃硫(liu)酸(suan)，排(pai)放以硫(liu)酸(suan)物(wu)質(zhi)為主，處理廢硫(liu)酸(suan)成本很(hen)高，同時會存在一定的生態環境安全風險。這個問題成為阻礙(ai)行業(ye)發展的難題。

　　直面痛點。在(zai)上(shang)海(hai)市經濟和信(xin)息化委、上(shang)海(hai)市生態環境局等相(xiang)關部門的(de)支持下，上(shang)海(hai)市固(gu)體廢(fei)物和化學品(pin)管理技(ji)術中心、上(shang)海(hai)市集成電路(lu)行(xing)業協(xie)會(hui)積極探索，多次召開專家研討(tao)會(hui)論證處置方案，并(bing)于(yu)2016年開始(shi)由(you)中芯國際和澎博公(gong)司開展廢(fei)硫酸“點對點”資源(yuan)化定(ding)向再(zai)利用試點運行(xing)，經過多輪試點驗(yan)證，最終形(xing)成較(jiao)為成熟的(de)經驗(yan)。

　　去年，上海市集成(cheng)(cheng)電路行(xing)業協(xie)會會同多部門專門編寫形成(cheng)(cheng)了《鈦白粉用集成(cheng)(cheng)電路制造行(xing)業廢硫酸(suan)》(T/SICA001-2020)團(tuan)體標準，在(zai)上海市質(zhi)量(liang)技術(shu)監督部門網站(zhan)和國家標準網上進行(xing)公(gong)示，全力保障(zhang)廢酸(suan)源頭質(zhi)量(liang)的把控(kong)。

　　多維度再利用效益明顯

　　廢(fei)(fei)硫酸(suan)(suan)“點(dian)對(dui)點(dian)”資源化(hua)(hua)定(ding)向(xiang)再利用(yong)(yong)，這(zhe)一新模(mo)式(shi)的環(huan)(huan)境效益(yi)、經濟效益(yi)和社會效益(yi)都很顯著。相(xiang)關專家(jia)告(gao)訴(su)記者，模(mo)式(shi)的核心是(shi)實現(xian)集成電(dian)路制造過(guo)程中產(chan)生的廢(fei)(fei)硫酸(suan)(suan)替代鈦白(bai)粉(fen)生產(chan)工(gong)藝過(guo)程中用(yong)(yong)到的工(gong)業硫酸(suan)(suan)。經過(guo)試點(dian)驗證，這(zhe)種模(mo)式(shi)技術(shu)可行性很強，廢(fei)(fei)酸(suan)(suan)再利用(yong)(yong)單位(wei)在使用(yong)(yong)廢(fei)(fei)硫酸(suan)(suan)生產(chan)鈦白(bai)粉(fen)時(shi)，不需要(yao)調整現(xian)有工(gong)藝。同時(shi)，替用(yong)(yong)過(guo)程不增加額外的環(huan)(huan)境負擔與(yu)風險，不影響(xiang)產(chan)品的質量，符合“固體廢(fei)(fei)物減量化(hua)(hua)、資源化(hua)(hua)和無害化(hua)(hua)”原則(ze)。

　　談到(dao)經濟效益，這位(wei)專家給(gei)記者(zhe)算了(le)一(yi)筆賬：澎博公(gong)司再(zai)利(li)用廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)每噸(dun)收費(fei)(fei)(fei)500元，按照上海市往年(nian)廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)處置費(fei)(fei)(fei)每噸(dun)2000元計(ji)算，今(jin)年(nian)1月至(zhi)7月，澎博公(gong)司累計(ji)利(li)用廢(fei)硫(liu)酸(suan)(suan)1.5萬(wan)噸(dun)，集成電(dian)路生產(chan)企業可節約2250萬(wan)元。同時，澎博公(gong)司也節省了(le)購置工(gong)業濃硫(liu)酸(suan)(suan)的費(fei)(fei)(fei)用，產(chan)廢(fei)企業和(he)再(zai)利(li)用企業達(da)到(dao)了(le)“雙(shuang)贏”。

　　此外，新模式還符合循環經濟產(chan)(chan)業需求，不僅(jin)解決了廢硫(liu)酸(suan)處(chu)置(zhi)出(chu)路難(nan)、處(chu)置(zhi)費(fei)用高(gao)的(de)難(nan)題，降低了企業生(sheng)產(chan)(chan)成本和(he)廢硫(liu)酸(suan)處(chu)理費(fei)用，還促(cu)進了鈦白粉生(sheng)產(chan)(chan)單位的(de)升級(ji)改造、精(jing)準轉型和(he)綠色發(fa)展(zhan)，為(wei)日(ri)后集成電路產(chan)(chan)業的(de)蓬勃發(fa)展(zhan)鋪(pu)平(ping)了道(dao)路。

　　深入推進(jin)“點對點”資源化再(zai)利(li)用

　　“在探索推行(xing)這一新模式的過程中(zhong)，我們以守好(hao)環境(jing)底線為前(qian)提(ti)，做到嚴格把關，按程序(xu)推進。”上海(hai)市生態環境(jing)局相關負責(ze)人介(jie)紹，在前(qian)期(qi)提(ti)出設想并(bing)加以論證的基礎上，他們于(yu)2016年發文，同意將(jiang)中(zhong)芯(xin)國際(ji)和澎博(bo)公司設立為上海(hai)市首個廢(fei)(fei)硫酸(suan)定向再利用(yong)試點單位，利用(yong)芯(xin)片廢(fei)(fei)硫酸(suan)生產鈦白粉。

　　2019年11月，上海(hai)(hai)市生(sheng)態環(huan)境(jing)局同意(yi)4家(jia)企(qi)業廢(fei)(fei)硫(liu)酸定(ding)向資源(yuan)化再(zai)利用備案。2020年10月，上海(hai)(hai)市生(sheng)態環(huan)境(jing)局擴大廢(fei)(fei)硫(liu)酸定(ding)向資源(yuan)化再(zai)利用備案，新增4家(jia)企(qi)業，全面覆蓋上海(hai)(hai)市具備回(hui)收廢(fei)(fei)酸條件的集成電路制造企(qi)業。

　　據介紹，目前，各(ge)方進展順利(li)，各(ge)試點企業在嚴格執行危(wei)險廢物各(ge)項(xiang)管理(li)制度下，廢硫(liu)(liu)酸源頭品質(zhi)得到保(bao)障，并(bing)委托具有相關運輸資質(zhi)的(de)單位專人專車進行運輸。澎博(bo)公(gong)司(si)在廢酸使用期間，生產(chan)運行穩定，各(ge)項(xiang)污染物排放環保(bao)指標(biao)檢(jian)測均符合排放標(biao)準(zhun)。同(tong)時，澎博(bo)公(gong)司(si)對生產(chan)設(she)備工藝進行優化改造(zao)，在末端形成了可滿(man)足近期集成電路產(chan)業發(fa)展需(xu)求的(de)每年6萬(wan)噸廢硫(liu)(liu)酸利(li)用能力。

　　“十四五(wu)”期間(jian)，上海的集成(cheng)電路(lu)產(chan)量(liang)將(jiang)快(kuai)速增長，需處(chu)置的廢硫酸(suan)量(liang)也將(jiang)隨之增加。據最新統計，2020年產(chan)生廢酸(suan)1.25萬(wan)(wan)噸，2021年預計為(wei)2.8萬(wan)(wan)噸，到(dao)2022年上海芯(xin)片企業產(chan)生的廢硫酸(suan)將(jiang)高達(da)6萬(wan)(wan)噸，2025年將(jiang)達(da)到(dao)10萬(wan)(wan)噸以上。

　　面對這一形勢(shi)，上(shang)(shang)海各相關部門(men)召開會議(yi)制定了(le)“提前(qian)謀(mou)劃改造，形成(cheng)需求(qiu)匹配、長(chang)久穩定”的(de)廢硫酸利用原則。上(shang)(shang)海市(shi)發改委、上(shang)(shang)海市(shi)經濟和信息化委還專門(men)組織專家(jia)隊伍到資(zi)源化綜合利用企(qi)業澎博公(gong)司開展現場調研，了(le)解(jie)情況，聽取(qu)企(qi)業和行業專家(jia)的(de)意見和建議(yi)。

　　作(zuo)為廢酸(suan)再利用定點(dian)企業，澎博(bo)公(gong)司也啟動了匹配廢酸(suan)資源(yuan)化利用技(ji)改規劃，積極響應上級(ji)部(bu)門對澎博(bo)公(gong)司以廢定產、提前謀(mou)劃的(de)要求，規劃“集(ji)成電路(lu)行業10萬噸廢酸(suan)資源(yuan)化利用”技(ji)改。

　　在上(shang)海(hai)市人民(min)政府近日印發的(de)《上(shang)海(hai)市2021-2023年(nian)生態環境保護(hu)和建設三年(nian)行(xing)動》文(wen)件上(shang)，記者(zhe)也注意到相關條(tiao)文(wen)：在環境可控的(de)前提下，持續推動集成電路(lu)行(xing)業廢酸等危險廢物“點對點”定向資(zi)源(yuan)化利用(yong)工(gong)作(zuo)，形成穩(wen)定的(de)與集成電路(lu)行(xing)業未來發展相適(shi)應的(de)廢酸處置(zhi)利用(yong)能力。

　　據悉，未來，這種廢棄硫酸“點(dian)對(dui)點(dian)”資源化(hua)定(ding)向再(zai)利用(yong)模式，將有(you)力保(bao)障我(wo)國集成(cheng)電路(lu)行(xing)(xing)業(ye)的發展，也將對(dui)其他行(xing)(xing)業(ye)的危險廢物(wu)綜合(he)利用(yong)起到借(jie)鑒和(he)引領作用(yong)。

來(lai)源：中國環境報